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概要 :: 真空吸着ステージ

ポーラスアルミ、または、ポーラスアルミナを使用した真空吸着ステージはドリル加工穴が無いので、薄いフィルムのような繊細なワークでも何らの変形も無く吸着が行えます。 また、逆に、ワークの取出しの際に起こる引っかかりのトラブルは逆ブローを利用することにより解消され、スムーズに行えます。
吸着ステージ表面に曲面形状があるステージも製作可能です。

特長

  • ワークの変形が無い
  • ワークの損傷が無い
  • 吸着力がステージ全面にわたり均一
  • ワークの大きさに関らず吸着力が一定
  • 吸着力が真空度に比例

ポーラスアルミ製ステージ
【ポーラスアルミ製ステージ】
ポーラスアルミナ製ステージ
【ポーラスアルミナ製ステージ】

真空吸着力

吸着力はステージ表面全面にわたりどの部位でも均一得られます。
吸着力はワークの大きさに関らず、ワークの単位面積当たりについては同じです。
たとえば、500x500mmのステージで、ワークがA4サイズでも、またワークがステージ面積の10%以上の大きさの場合、単位面積当たりの吸着力はほとんど同じです。
吸着力は導入する真空度により異なります。 従って、同一ステージにおいて部位によって異なる吸着力を必要とする場合は、真空ラインを2系統以上設けることにより達成することが出来ます。

 【吸着力(N/cm2)】
 ポーラス材  / 材質 真空度(bar)
-0.3 -0.5 -0.85
ポーラスアルミ / アルミ 2.3 3.9 8.2
ポーラスアルミナ/ アルミナ 2.3 3.9 8.2

注)-0.85barの条件下での吸着力の値は、ステージ全表面での吸着として測定された。
  また、-0.5barおよび-0.3barでの測定は、ステージ表面上の部分使用で測定された。
  この吸着力はサクションカップを垂直方向に引っ張り測定された。

用途例:平面吸着ステージ

 
図)平面吸着ステージ
  • 吸着ステージには、ポーラスアルミ材を使用したものとポーラスアルミナ材の2種類があります。
  • 一般的にはポーラスアルミ材のステージが用いられますが、電気導電性のある不純物を避けたいワークの吸着にはポーラスアルミナ材が使用されます。
  • 吸着ステージでは真空の導入は、ステージの側面から、または、ステージ下部からでも、どちらでも出来ます。
  • 真空引きポートは、基本的には1箇所ですが、ステージが大きい場合は2~3箇所になることがあります。
  • ステージの平面度の精度は、通常30~50μmですが、要求によっては10μm前後の精度も可能です。
  • ステージの大きさ・形状を問わないですが、ステージが大きくなると高い精度は困難となります。
  • 吸着ステージ表面には3~5μm厚の保護コーティングを施すことが出来ます。
  • 吸着ステージ表面に曲面形状などがあるステージも製作可能です

用途例:サクションロール

 
図)サクションロール
  • 通常のロールを芯にして、外周にポーラス材を巻きつけたサクションロールはフィルム、紙、シート、金属箔等々をロールの回転速度に合わせ、ワークがスリップすること無く一定の速さで送ることが出来ます。

動画

真空吸着ステージの動画1

真空吸着ステージの動画2

真空吸着ステージの動画3

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